答 半導體廢氣處理方法有很多種，但是不同的處理方法效率也不同。根據實測結果，專家給出以下幾種處理方法的效率排名

1. 等離子體處理法等離子體處理法是一種高效的半導體廢氣處理方法。它通過將廢氣通入等離子體反應器中，產生高溫高壓等離子體，在等離子體的作用下，廢氣中的有害物質被分解成無害物質。該方法處理效率高達90%以上，且對環境污染小。

2. 活性炭吸附法活性炭吸附法是一種常見的半導體廢氣處理方法。該方法通過將廢氣通入活性炭吸附器中，利用活性炭的吸附作用將廢氣中的有害物質吸附下來。該方法處理效率在70%左右，但是活性炭需要不定期更換，且更換后的活性炭需要進行處理，否則會對環境造成污染。

3. 催化氧化法催化氧化法是一種將有害物質氧化成無害物質的半導體廢氣處理方法。該方法通過將廢氣通入催化劑反應器中，在催化劑的作用下，廢氣中的有害物質被氧化成無害物質。該方法處理效率在60%左右，但是催化劑需要定期更換，且更換后的催化劑需要進行處理，否則會對環境造成污染。

綜上所述，等離子體處理法是一種效率高、對環境污染小的半導體廢氣處理方法。