工業廢氣處理是清潔生產的重要組成部分，它不僅可以減少污染，還可以節約能源。本文針對工業廢氣處理的步驟進行了詳細的論述，具體包括：

1、工業廢氣檢測：在處理工業廢氣之前，應先進行檢測，以了解廢氣中含有的物質種類和含量，以便確定合適的處理技術。

2、凈化處理：凈化處理是工業廢氣處理的重要一步，可以采用吸附、催化、膜分離、脫硫、脫硝等技術來凈化廢氣中的有害物質。

3、排放處理：排放處理指將經過凈化處理后的廢氣排放到大氣中，以減少污染。

4、回收處理：有些廢氣中含有有用的物質，可以采用回收技術將其回收利用，以節約能源。

5、再利用處理：再利用處理指將廢氣中的有用物質進行再利用，以達到節能減排的目的。

綜上所述，工業廢氣處理應從檢測、凈化、排放、回收和再利用五個方面入手，以實現清潔生產的目標。