1、除塵：除塵是氟化物廢氣處理中常用的方法，主要是將廢氣中的細小顆粒物進行捕集。通常使用靜電除塵器、旋風除塵器、袋式除塵器、回收式除塵器等來實現，可以有效地降低廢氣中的顆粒物濃度。

2、吸收：吸收是氟化物廢氣處理常用的方法之一，它的基本原理是利用溶液的吸附作用，使廢氣中的氟化物進入溶液中，從而降低廢氣中的氟化物濃度。常用的吸收劑有堿性溶液、硫酸銨、硫酸鈉、氯化鈣等。

3、催化：催化是指利用催化劑來使氟化物發生反應，從而轉化為無害物質。常用的催化劑有碳酸鈣、碳酸鈉、石灰石、硅酸鈣等。

4、脫硫：脫硫是指利用吸附劑將廢氣中的亞硫酸鈉進行吸附，從而降低廢氣中的硫化物濃度。常用的吸附劑有活性炭、活性硅酸鈣、活性鋁等。

5、活性炭吸附：活性炭吸附是指利用活性炭的吸附作用，將廢氣中的氟化物吸附到活性炭表面，從而降低廢氣中的氟化物濃度。

總之，氟化物廢氣處理的方法主要有除塵、吸收、催化、脫硫和活性炭吸附等五種。這些方法都有其特點和優點，環保部門和企業應根據自身情況，結合實際情況，選擇合適的方法來處理氟化物廢氣，以保護環境。