半導體工廠廢氣處理行業簡述
眾所周知,從2018年中至今,大洋彼岸的某國在科技、半導體領域對我們發起了貿易站、技術封鎖。在此大背景下,從普通消費品到硬核科技產品,國產替代概念這些年都是異常地火爆,國家也是大力支持半導體行業企業的發展。因為,半導體是許多工業設備的運轉核心,比如計算機、消費電子產品、網絡及通信設備、汽車等國民經濟的核心領域,卡脖子的問題必須得到解決。因此,國內半導體行業近些年正在蓬勃發展。
半導體工廠廢氣主要來源
在行業劃分上,半導體也屬于電子行業,半導體產成品的出現仍然需要像制造業那樣經過設計、研發、生產、封裝、測試等諸多環節。因此,在研發設計和生產加工過程中也會產生大量的有害廢氣。在半導體電子行業中,芯片或線路板在清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等各個環節均會有廢氣產生。再有,在半導體加工車間,生產線上也會產生一定量的廢氣和粉塵,這些也必須予以處理。
半導體行業廢氣種類
至于半導體行業廢氣的種類和成分,其實也可以用紛繁復雜來形容,匯總起來,大概有如下這些:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。
半導體工廠廢氣處理工藝方案
半導體行業廢氣通常可以采用焚燒法、吸附法、冷凝法、低溫等離子、光催化氧化法等工藝來處理。但由于電子行業廢氣種類復雜多樣,使用單一設備往往無法實現凈化達標的效果,需要采用多種廢氣處理設備的工藝組合來解決。
推薦工藝組合:水噴淋+UV光氧+干式過濾+活性炭吸附濃縮+催化燃燒
工藝簡述:水噴淋可以將廢氣中的水溶性好的有機廢氣進行預處理凈化;再通過UV光氧將一些廢氣分子破碎并進一步氧化還原,干式過濾則可以捕捉廢氣中的粉塵,確保廢氣潔凈;活性炭吸附濃縮可以將有機廢氣成分經過活性炭吸附裝置,被活性炭吸附,干凈的氣體再排出;催化燃燒可以將活性炭中的有機廢氣脫附催化燃燒干凈,使活性炭再生重復使用。
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